Unsere Miniaturtische der LPS Serie erreichen selbst unter UHV Bedingungen oder starken Magnetfeldern eine bidirektionale Wiederholgenauigkeit von 0,5nm bei Stellwegen von 10-80mm. Damit erschliessen wir Anwendungen die sonst nur in Kombination mit einem Interferometer moeglich sind! Selbst Zugluft oder leichte Erschuetterungen stoeren die robusten Tische nicht in ihrer Genauigkeit.

Die subnanometer Aufloesung in Verbindung mit der hohen Antriebskraft und unseren hochaufloesenden zero-drift Encodern erfuellen wichtige Anforderungen fuer die Positionierung diverser Komponenten oder Proben bei begrenzen Bauraum und reaktionsschnellem Einsatz. Die Einzelachsen sind auf einander abgestimmt und lassen sich einfach und passgenau kombinieren.

Fuer spezial Anwendungen fertigen wir die Tische auch komplett aus Titan oder Invar mit Keramik Kreuzrollen Fuehrungen und einem optischen Encoder mit Robax Masstab erhaeltlich. Der eigens entwickelte optische Encoder hat lediglich eine Verlustleistung von 20mW. Diese wird zusaetzlich auch noch ueber einen Kuehlkoerper abgestalt. Bei Bedarf ist der Betrieb von zwei Encodern moeglich um die Aufloesung oder die Genauigkeit zu erhoehen. Unsere einzigartige Technologie ist fue alle diejenigen die den Anspruch der Reproduzierbarkeit besitzen. Hoch aufloesen kann inzwischen jeder, und hier unterscheiden wir uns neben der 3fachen Antriebskraft signifikant zu unseren Mitbewerbern.

Mit unseren magnetischen Encodern erreichen wir Aufloesungen bis 10nm.Mit dem Optischen Sensor erreichen wir eine Aufloesung runter bis 5pm. Bei beiden Systemen koennen wir die Verlusstleistung bis auf 15mW reduzieren.

Es gibt eine Vielzahl von Kombinationsmoeglichkeiten. Lassen Sie sich telefonisch beraten. Sollte Ihre Loesung nicht dabei sein, sind wir sicher in der Lage Ihnen ein Angebot fuer Ihre Anforderung zu unterbreiten.

download: Precision of LPS-30.pdf

the LPS-30x piezo moto stage
travle range: 15-85mm
resolution down to 50pm zero drift and homing
force: 6/10/20N
stainless/invar/titan
standard/ UHV/nonmagnetic

. LPS-30.pdf

the LPS-60A piezo moto stage

. LPS-60A.pdf

the theta-table piezo moto stage
travle range: 360 degree / 12,8mm aperture
resolution up to 120mio counts/ turn zero drift and homing
force: 90mNm
stainless
standard/ vacuum

fit direct to the LPS-30

. RPS_LW20.pdf

____________________________________________________________________________________

the LPS-20 system
travle range: 8mm
resolution 10nm with adapted magnetic encoder
force: 10N
stainless
standard/ vacuum

fit direct to the LPS-30 or theta table

It is a cost efficient, stong and tiny system with a 20x22mm foot print

. LPS-20.pdf

_________________________________________________________________________

the torque master table piezo motor system
travle range: 360 degree
resolution 129.600 counts/ turn zero drift and homing
force: 100mNm.
stainless
standard/ vacuum

It is a very compact torque drive with D23x20mm with encoder and fit direct to the LPS-30

. torque master table.pdf

30*30 cross roller goni with motor and encoder
travle range: 20 degree / radius 45 and 63mm with same pivot point
resolution down to 0,5nm zero drift and homing at the radius
force: 6N at the radius
stainless/invar/titan but stainless cross roller
standard/ UHV.